JPH0729632Y2 - ボンディング装置におけるxyテーブル - Google Patents
ボンディング装置におけるxyテーブルInfo
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- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 8
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP1988103290U JPH0729632Y2 (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 | ボンディング装置におけるxyテーブル |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP1988103290U JPH0729632Y2 (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 | ボンディング装置におけるxyテーブル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0226236U JPH0226236U (en]) | 1990-02-21 |
JPH0729632Y2 true JPH0729632Y2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=31333986
Family Applications (1)
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JP1988103290U Expired - Fee Related JPH0729632Y2 (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 | ボンディング装置におけるxyテーブル |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH0729632Y2 (en]) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS5952540A (ja) * | 1982-09-20 | 1984-03-27 | 株式会社富士電機総合研究所 | 電磁式粉砕混合等処理装置 |
JPS6299038A (ja) * | 1985-10-25 | 1987-05-08 | Hitachi Ltd | 位置決めステ−ジ |
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1988
- 1988-08-05 JP JP1988103290U patent/JPH0729632Y2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
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JPH0226236U (en]) | 1990-02-21 |
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